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Der Einfluss von elektrostatischen Faktoren auf IC-Verpacken

October 30, 2020

Die Verpackungsindustrie gehört dem Hinterproduktionsverfahren in der gesamten IC-Produktion. In diesem Prozess für Plastikpaket IC, hybrides IC oder monolithisches IC, gibt es hauptsächlich die verdünnende Oblate (Reiben), die schneidene Oblate (Anreißen) und Kernladung. (Klebendes Blatt), Druckschweißen (Abbinden), verpackend (Verkapselung) und vor-kurieren und galvanisieren und drucken, nach-Kurieren und schneiden Rippen, Rohrmontage, Nachdichtungsprüfung, etc. Jeder Prozess hat verschiedene Anforderungen für unterschiedliche Prozessumwelt.

Der Einfluss von elektrostatischen Faktoren auf IC-Verpacken

Zuerst kann die Ursache der statischen Elektrizitäts überall gesehen werden. Heute mit der schnellen Entwicklung des Wissenschaft und Technik und des hohen Maßes von Automatisierung in der industriellen Industrieproduktion, liegt der Schaden der statischen Elektrizitäts in der industriellen Industrieproduktion bereits auf der Hand. Er kann verschiedene Hindernisse verursachen, die Verbesserung des Automatisierungsniveaus begrenzen und Produktqualität beeinflussen. Sind hier die Hauptgründe für die Generation der statischen Elektrizitäts basiert auf der tatsächlichen Situation unserer Fabrik in im Verpacken und dem Produktionsverfahren der integrierten Schaltung.

1. Die Bau- und Dekorationsmaterialien in der Produktionswerkstatt sind größtenteils hochohmige Materialien. Das IC-Produktionsverfahren erfordert den Gebrauch einer sauberen Werkstatt oder einer ultra-sauberen Werkstatt.
Die Teilchengröße von Staub-entfernenden Partikeln wird angefordert, von den vorhergehenden 0.3μm bis den 0.1μm geändert zu werden, und die Staubteilchendichte ist über 353/m3. Zu diesem Zweck zusätzlich zur Installation der verschiedenen Staubabsaugungsausrüstung, müssen anorganische und organische staubfreie Materialien benutzt werden, um Staub zu verhindern. Jedoch wird die elektrische Leistung von Baumaterialien keinen Indikator gehalten. Es gibt keine Bestimmung in den Entwurfsspezifikationen für saubere Werkstätten von Industrieunternehmen. Die Hauptinnenausstattungsmaterialien, die in der sauberen Werkstatt von IC-Fabrik benutzt werden, sind: elastischer Boden des Polyurethans, Nylon, harter Plastik, Polyäthylen, Plastiktapete, Harz, Holz, weiße Porzellanplatte, Email, Gips, etc. Die meisten oben erwähnten Materialien sind Polymermittel oder -isolatoren. Zum Beispiel ist die Widerstandskraft des Plexiglaskörpers 1012~1014Ω/cm, und die Widerstandskraft des Polyäthylenkörpers ist 1013~1015Ω/cm, also ist die Leitfähigkeit verhältnismäßig arm, und die statische Elektrizität wegen etwas Grundes ist nicht einfach, zur Erde durch sie, mit dem Ergebnis der Ansammlung der statischen Elektrizitäts zu lecken.

2. Statisch Elektrizität des menschlichen Körpers
Die verschiedenen Bewegungen und der Reinraumbetreiber, der Sohlen der Schuhe und des Bodens hin und her gehen sind ständig im nahen Kontakt und in der Trennung, und verschiedene Teile des menschlichen Körpers haben auch Tätigkeiten und Reibung. Ob er schnelles Gehen ist, verlangsamen Sie das Gehen, oder trottend, wird statisch Elektrizität erzeugt, die die so genannte gehende Gebühr ist; der menschliche Körper steht oben, nachdem er sich bewegt hat. , Werden die Arbeitskleidung, die durch den menschlichen Körper getragen werden und die Stuhloberfläche getrennt, nachdem man mit der Stuhloberfläche in Verbindung getreten hat, und statisch Elektrizität wird auch erzeugt. Wenn die elektrostatische Spannung des menschlichen Körpers nicht beseitigt werden kann und der IC-Chip berührt wird, verursacht möglicherweise er IC-Zusammenbruch unknowingly.

3. Statisch Elektrizität verursacht durch Klimaanlagen- und Luftreinigung
Da IC-Produktion relative Feuchtigkeit 45-55% erfordert, muss Klimaanlagen- und Luftreinigung eingeführt werden. Die ausgetrocknete Luft wird zum Reinraum durch den Primärfilter, mittleren Leistungsfähigkeits-Filter, Filter der hohen Leistungsfähigkeit und Lufteinlass geschickt. Im Allgemeinen ist die Windgeschwindigkeit des Hauptlufteinlasses 8~10m/s, und die innere Wand des Lufteinlasses wird gemalt. Wenn die trockene Luft und der Lufteinlass, die trockene Luft und die Filterbewegung im Verhältnis zu einander, statisch Elektrizität erzeugt werden. Es sollte gemerkt werden, dass statisch Elektrizität für Feuchtigkeit empfindlicher ist.
Darüber hinaus erzeugt der Transport von Halbzeugen und VON IC-Produkten statisch Elektrizität während des Verpackens und des Transportes, der einer der Faktoren der statischen Elektrizitäts ist.
Zweitens ist der Schaden der statischen Elektrizitäts ICs beträchtlich. Im allgemeinen hat statisch Elektrizität die Eigenschaften des hohen Potenzials und des starken elektrischen Feldes. Bei der elektrostatischen Aufladung und der Entladung werden die vorübergehende hohe gegenwärtige Entladung und elektromagnetischer Impuls (EMP) manchmal gebildet und erzeugen elektromagnetische Strahlungsfelder mit einem breiten Spektrum.
Darüber hinaus verglichen mit herkömmlicher elektrischer Energie, ist elektrostatische Energie verhältnismäßig klein. Im natürlichen Elektrifizierungentladungsprozeß sind Parameter der elektrostatischen Entladung (ESD) unkontrollierbar, und es ist ein gelegentlicher Prozess, der schwierig zu wiederholen ist. Deshalb wird seine Rolle häufig von den Leuten beeinflußt. Ignoriert. Besonders auf dem Gebiet der Mikroelektroniktechnologie, erstaunt der Schaden, den es uns verursacht. Entsprechend Berichten ist der direkte wirtschaftliche Verlust, der durch statisch Elektrizität verursacht wird, so hoch wie mehreres hundert Million Yuan jedes Jahr. Statisch Elektrizität ist ein bedeutendes Hindernis zur Entwicklung der Mikroelektronikindustrie geworden.

In der Halbleiterbauelementproduktionswerkstatt wegen der Aufnahme des Staubes auf dem Chip, der Ertrag von IC, besonders sehr integrierte Schaltungen des großen Umfangs (VLSI), wird groß verringert. Betreiber in der IC-Produktionswerkstatt tragen sauberen Overall. Wenn der menschliche Körper mit statischer Elektrizität aufgeladen wird, ist es einfach, Staub und Schmutz zu absorbieren. Wenn dieses Staub und Schmutz zum Operationsstandort geholt wird, beeinflußt er Produktqualität, verschlechtert Produktleistung und verringert groß IC-Ertrag. Wenn der Radius der adsorbierten Staubteilchen größer ist, als μm 100 und die Linienbreite μm ungefähr 100 ist, wenn die Dicke unterhalb μm 50 ist, ist das Produkt höchstwahrscheinlich ausrangiert zu werden.

Drittens hat der Schaden der statischen Elektrizitäts ICs bestimmte Eigenschaften.
(1) kann Geheimhaltung, es sei denn, dass elektrostatische Entladung auftritt, der menschliche Körper statisch Elektrizität nicht direkt empfinden, aber der menschliche Körper glaubt möglicherweise keinem Elektroschock, wenn elektrostatische Entladung auftritt. Dieses ist, weil die elektrostatische Entladespannung, die durch den menschlichen Körper abgefragt wird, 2~3kv ist, also wird statisch Elektrizität verborgen.
(2) wird Potenzialität die Leistung einiger Wannen nicht erheblich verringert, nachdem man durch statisch Elektrizität beschädigt worden ist, aber mehrfache kumulative Entladungen verursachen internen Schaden IC-Geräte und bilden versteckte Gefahren. Deshalb hat statisch Elektrizität Potenzial, IC zu beschädigen.
(3) unter welchen Umständen kann gelegentliches IC elektrostatischen Schaden erleiden? Es kann dass von der Produktion eines IC-Chips gesagt werden, bis es beschädigt ist, alle Prozesse wird gedroht durch statisch Elektrizität, und die Generation der statischen Elektrizitäts ist auch gelegentlich. Sein Schaden ist auch gelegentlich.
(4) liegt die Fehleranalyse des komplexen Schadens der elektrostatischen Entladung zeitraubendes, arbeitsintensives und teures an der Geldstrafe, fein und an den kleinen strukturellen Eigenschaften von Mikroelektronischen IC-Produkten, erfordert Spitzentechnologie und häufig erfordert den Gebrauch der in hohem Grade hoch entwickelten Instrumente, allerdings sind einige elektrostatische Schadenphänomene auch schwierig, vom Schaden zu unterscheiden, der durch andere Gründe verursacht wird; Leutefehler der Ausfall des Schadens der elektrostatischen Entladung als andere Ausfälle, die häufig frühem Ausfall oder unbekannten Bedingungen vor dem vollen Verständnis des Schadens der elektrostatischen Entladung der Ausfall zugeschrieben werden, so unbewusst Vertuschung die wirkliche Ursache des Ausfalls. Deshalb wird er erschwert, um den Schaden der statischen Elektrizitäts ICs zu analysieren.

Alles in allem ist es notwendig, ein elektrostatisches Schutzsystem bei IC-Verarbeitung, -produktion und -verpacken herzustellen! Verpackenfertigungsstraßen ICs haben strengere Anforderungen für statisch Elektrizität. Um den Normalbetrieb der Fertigungsstraße sicherzustellen, wird die Gesamtdekoration von antistatischen Baumaterialien auf der sauberen Werkstatt durchgeführt, und alles Personal, welches die saubere Werkstatt betritt und verlässt wird mit antistatischer Kleidung ausgerüstet. Zusätzlich zum Ergreifen von Hardware-Maßnahmen, kann das Verpackungsunternehmen den relevanten nationalen Standards und der tatsächlichen Situation der Firma folgen. Die Situation hat Unternehmensstandards oder spezifische Anforderungen im Hinblick auf antistatisches formuliert, mit dem Normalbetrieb von Verpackenfertigungsstraßen ICs zusammenzuarbeiten. Mit der Expansion Pack-Bänder ICs meines Landes, ist die Verbesserung von Verpackenfähigkeiten, die Zunahme der Verpackenvielzahl und die höheren Anforderungen für Produktqualität und -ertrag entsprechend verschiedene Software- und Hardware-Anforderungen und das Bewusstsein des elektrostatischen Schutzes für alle Praktiker Verstärkung sogar wichtig, und diese ist auch, auftretend spielend und als die „Hauptrolle“ und „der unsichtbare Mörder“, der die Qualität unserer Produkte beeinflußt. Deshalb ist elektrostatischer Schutz ein wichtiges Thema in der gesamten IC-Industrie zur Zeit und in der Zukunft.